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睿达科技自创立之日起就坚持自主研发,自主创新。我们专注在激光切割系统的开发和应用,经过多年的技术和经验积累,已经创造和实施了诸多的成功控制系统解决方案,并得以在客户中得到推广和应用。当设备制造商需要一个高速,高可靠性以及高效灵活的激光加工控制系统时,睿达科技将在专业的高质量切割领域以及自动化方面为您提供一个高性价比的实施方案。在激光切割系统应用中,睿达科技可以从每个环节和细节提供系统级的咨询和服务,为客户节省成本和选型的时间以及调试的时间,也使用户的售后服务得以简化。睿达科技切割系统家族产品涵盖了从脱机产品到联机的系列产品。产品高度兼容高压激励CO2激光器、射频激励CO2激光器、光纤激光器以及紫外激光器系列。从低功率非金属激光切割系统、中功率金属非金属激光切割系统以及高功率光纤激光切割控制系统都可以提供完整的解决方案。产品应用覆盖普通切割和精密切割领域。睿达科技的激光切割系统产品都基于工业级的TI系列浮点DSP处理器和高密度的FPGA技术,可脱机运行的硬件架构保证了系统长时间工作的稳定性。柔性的加减速技术和前瞻控制技术保证了整个控制系统的快速性和平稳性。产品功能可以完成平面切割、平面雕刻,旋转切割,旋转雕刻功能。自主研发的针对金属或者非金属材料的自动调高控制器扩展了普通二维切割应用的广度,使得切割非平面的材料成为可能。另外,作为整个控制系统的补充,睿达科技还提供无线WIFI,无线操作手柄等辅助设备,以改善用户操作的性能。 机器视觉在睿达科技产品发展中占有越来越重要的地位。我们还将更加深入融合视觉技术在运动控制的深度应用。目前,我们已经具有了基于图形模板匹配技术的视觉定位系统以及基于mark点的视觉定位系统。另外我们还又拥有自动轮廓识别和变形匹配技术以适应更加复杂的现场应用。我们已经将视觉技术和激光切割应用紧密结合,派生了诸多的视觉切割控制系统。视觉技术和焊接应用结...
中新网客户端北京11月2日电(记者 李金磊 谢艺观)中共中央总书记、国家主席、中央军委主席习近平1日在京主持召开民营企业座谈会。在这场意义非凡的会议上,习近平就民营经济发出最权威的声音,明立场、驳谬论、增信心、开良方,让民营企业和民营企业家吃下定心丸。明立场——“两个毫不动摇”“三个没有变”  当前中国经济运行稳中有变,经济下行压力有所加大,一些民营企业在经营发展中遇到困难,舆论场上也出现不少有关民营经济的杂音和噪音。  在今次座谈会上,习近平再次阐明了中央对民营经济的立场:坚持“两个毫不动摇”,强调“三个没有变”。  习近平在会上说:党的十八大以来,我多次重申坚持基本经济制度,坚持“两个毫不动摇”。  他进一步指出,“非公有制经济在我国经济社会发展中的地位和作用没有变!我们毫不动摇鼓励、支持、引导非公有制经济发展的方针政策没有变!我们致力于为非公有制经济发展营造良好环境和提供更多机会的方针政策没有变!”  事实上,在最近一个多月内,习近平多次谈及民营企业。9月27日,在辽宁忠旺集团考察时,习近平强调,“改革开放以来,党中央始终关心支持爱护民营企业。我们毫不动摇地发展公有制经济,毫不动摇地鼓励、支持、引导、保护民营经济发展。”  10月20日,习近平专门就民营经济发展问题给“万企帮万村”行动中受表彰的民营企业家回信,强调“支持民营企业发展,是党中央的一贯方针,这一点丝毫不会动摇。”  10月22日至25日,习近平在广东考察时强调,“民营企业对我国经济发展贡献很大,前途不可限量。党中央一直重视和支持非公有制经济发展,这一点没有改变、也不会改变。”  中国国际经济交流中心副总经济师徐洪才表示,习近平最近多次就支持民营经济表态,接连给民营经济发展打气,频率之高,鼓舞人心,堪称“及时雨”,给支撑起中国经济“半壁江山”的民营企业吃下定心丸,注入强心剂,影响将是深远的。驳谬论——“民营...
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睿达大幅面智能视觉激光切割控制系统是基于睿达普通切割平台上开发的一套视觉识别系统,软件可以一次性采取整个机台平面内的图像,然后对图像进行轮廓提取,或通过制作模板进行模板匹配识别。最后将图中提取相应的切割数据,形成切割文件发送到控制器进行切割。同时软件还支持送料,拍照、识别、切割一体化全程自动化处理。功能描述:1、双工作模式及中英语言版本;2、采用先进的学习模板技术,能在变化的目标中精准并批量地识别目标位置;3、识别支持单个模板、多个模板、超大模板并能精准的批量识别随机偏移、旋转、缩放的目标。以及目标模板变形的校正;4、学习模板多种复制方式(不变复制、旋转复制、XY方向镜像复制),提高模板利用率;5、学习模板可保存到软件中,可随时使用;6、学习模板支持导入、导出位图、矢量数据;7、软件中相机采用单反相机进行采集图像数据,画质好、精度高;8、带数据优化及预处理功能,可对数据进行处理。使软件工作效率更高、精度更高;9、软件支持材料轮廓提取及四级曲线平滑处理。使提取到的数据平滑,保证切割流畅;10、摄像机图像失真自动校正:摄像机采集数据时,受到外界环境或是硬件本身工艺的影响,图像数据存在变形的情况。本软件支持自动校正失真图像功能;11、软件可以实现重复加工,实现自动化生产,提高效率;应用领域:视觉定位,商标切割 大幅面图像分析。
RDD6584G睿达科技独立自主开发的具有刀具刀向跟随控制功能的刀切控制器,集成了振动刀、圆刀、铣刀、压轮等刀具的加工,同时集成了送料,圆形冲孔,V字特型冲孔,画笔加工,红光定位等一系列功能。该控制器支持单XY轴加工方式以及独立的双XY异步加工工作方式,同时支持双头互移的双刀头加工方式。该控制器具有多达8个轴的步进/伺服驱动器控制接口,具有16路限位输入,16路专用/通用输入,以及28路通用输出。同时具有USB2.0和10/100M网络通信以及U盘文件对拷功能,可工作在联机和脱机模式下,同时预留了外部扩展设备互联通信接口。控制器搭载7寸工业触摸屏,人机界面功能直观强大,操作方便。功能描述:1、支持最多到8路伺服/步进电机控制;2、支持最多2路扩展串口,可以和EPLC-400,无线手持设备(BWK201R,BWK301R),以及其他具有RS232标准接口的设备进行通信;3、支持最多28路OC门输出,可直接驱动5V/24继电器,控制器内置蜂鸣器+三色灯控制输出;4、支持手机APP;5、支持单皮带型/多皮带型的2头电动互移控制;6、支持双头异步加工;7、支持投影切割加工方式;8、支持振动刀、压轮、铣刀、冲孔、画笔等加工工具的混合加工;9、8轴卡,多输入输出方便客户定制功能开发;产品选型:RDD6584G应用领域:控制器可广泛应用于服装、皮革、布料、纸箱等材料的自动化刀片裁剪及混合冲孔加工的领域,在替换手工裁剪以便大规模提升加工精度、加工效率以及加工安全性的基础上,还可规避激光切割等加工方式带来的环境污染问题,做到高精度、高效率、高可靠、绿色环保的自动化加工。
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别样的普吉之旅 北纬7度,一个拥有信仰和深受阳光眷宠的国度,对这个国度倾注最初的爱源于小学课本里的曼谷大象,从来未曾想过多年之后,我能有幸亲吻这片拥有神秘面纱的神奇国土,也许缘分就是如此妙不可言吧,不经意间结识到的某个瞬间,某种邂逅,在未来的某天就这样成真了! 旅行的意义,对现如今的我而言,倘若谈不上是一种远离,那也是心灵的某种回归,在美景中回归最本真的自己和最纯粹的美好,感谢我的团队,让我有机会在异国他乡静看人潮,与自己相遇! 五一节,趁着这样的岁月静好,趁着别样的花样年华,我第一次踏出了国门,徜徉在普吉这个浪漫海岛的热情四溢里,普吉的一束阳光,一把海风,就能轻易美到心醉,触动到心底,普吉老镇,小街道,独特的短房屋,慢节奏的生活,处处充盈着佛教文化,在这里你可以不急不躁,看静谧的海,品尝各式酸辣可口的美食以及甜到爆的热带水果,当然也无需担心语言障碍,因为连街边小摊卖啤酒和炸鸡的大妈都会用中文交流,时不时还会向你绽放温和的笑容!   普吉,这个漂流在海上的小岛,的确是来了就让人不曾想离开,这里你不管走到哪,都是唯美如画的,旅行第一天,拥有纯正泰国血液,中文却超级流利的导游P海带领我们骑大象,坐牛车,享受鱼疗,体验了不一样的泰国南部风土原貌及郊外风情,晚上,观看了国际范的泰国人妖表演,那一刻,我只为艺术而停留,绚丽的舞台,多样的背景变幻,精致的服装,高挑的人妖们美得是那样的无懈可击,在秀场里他们演绎了不同国家的风情,期间浸润着的中文歌曲桥段让我恍然以为回到了故土,人妖的美是那种远观的美,倘若你近焉拍照,你会觉得欢乐的背后是他们不为人知的艰辛和汗水。  旅行第二天,一大早,我们就来到了普吉香火鼎盛的海龙寺,虔诚的拜了传说中极为灵验的四面佛,拜完后在菩提树下摸头三下,预示从此好运相伴。平日里,常常会忽略心灵最初的自己,在这里,我在菩提树下诠...
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新型激光技术分割脆性材料

日期: 2017-11-23
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 成本、质量、产量是半导体和光伏制造业赢得成功的关键因素。其中,一个重要的加工方式是切割,因为需要采用不同的切割工艺将晶圆(wafer)分离成裸片(die)或将太阳能电池切割成为半电池。然而,传统的机械式或基于激光工艺的切割技术或多或少存在诸如因去除材料而导致的颗粒形成或在切割边缘造成材料损伤等弊端。

热激光束分离技术

在这种情况下,热激光束分离技术(TLS-Dicing)成为分离硅(Si)、碳化硅(SiC)、锗(Ge)和砷化镓(GaAs)等半导体材料的一种快速、清洁、高成本效益的替代解决方案。

根据应用的不同,先从初步的划片工艺开始,然后,按照经过仔细计算过的能量对材料进行激光加热(图1a)。材料受热膨胀,受热区内压力上升,同时受热区周边的拉伸应力也随之增加。激光加热后紧接着的是喷射极少量的去离子水进行冷却(低于10ml/min)(图1b)。这将在第一区域附近形成第二个冷却区,从而引起切向拉伸应力模式。在两种应力模式的叠加区域产生的拉伸应力将导致材料发生开裂,并引导裂纹尖端贯穿材料。(图1C)。

新型激光技术分割脆性材料

图1:热激光束分离技术的原理包含激光加热(a)、水喷雾冷却(b)、以及应力引起的开裂(c) 等要素。

与传统切割技术相比,热激光束分离技术彰显出诸多优势,例如分离速度快、侧壁非常光滑、无碎裂和微裂纹、优异的抗弯强度、以及无刀具磨损和物料消耗所实现的低拥有成本。

该工艺使用了两种激光源:用于初步划片的高斯光束短脉冲划片激光器(532nm 或近红外波长激光)和另一款切割激光器。切割激光器可实现200W 连续波激光以及近红外波长。

热激光束分离技术是一种无切口的切割工艺,工艺本身几乎不产生颗粒。与传统切割技术相比,TLS-Dicing 是能够一次性完成晶圆整个厚度切分的高效工艺。

碳化硅器件的切割

基于带间空隙大、机械强度高、热导率高等优点,碳化硅(SiC)在某些功率器件中得到了广泛的应用。这些器件可以在更高的电压、频率和温度下工作,也能够以更高的效率或更低的功率损耗转换电能。同时,由于SiC 是一种非常硬而脆的材料(莫氏硬度为9.2),其加工过程中也会面临诸多挑战。

传统的切割技术在加工速度和切割质量方面存在一些弊端。例如,机械锯切的进给速度慢、刀片磨损大,成本高。此外,锯切容易导致晶片边缘产生碎屑以及造成脱层。相比之下,激光烧蚀会产生显著的热影响区、导致边缘质量不佳,以及形成微细裂纹。同时,激光烧蚀率很低,需要通过多次烧蚀才能完成单个晶圆裸片的分离。

相较以上加工手段,热激光束分离技术则是一次性即可完成的工艺,它能够以300mm/s 的速度对完整厚度的SiC 晶圆进行分离。由于TLS-Dicing 是一种切割工艺,因此,有望降低晶圆的切割宽度,并且提高每个晶圆可切割的晶片数量;同时,晶片边缘可实现光滑的效果、无残余应力、微裂纹和碎裂区(图2)。此外,前端切割迹道上的金属结构、晶片上的聚酰亚胺和背面的金属均能够顺利分离,且不会产生脱层或热效应。

新型激光技术分割脆性材料

图2:经过热激光束分离的SiC晶片边缘光滑、无微细裂缝、无碎裂。

对背面全金属化、含聚酰亚胺、切割迹道带金属结构的典型功率器件晶片使用热激光束分离工艺的产能进行了分析,结果显示,平均产能大于98%。此外,TLS-Dicing 工艺显著改善了每片晶圆的加工成本。3D-Micromac 是激光微加工领域的主要供应商,该公司开发的高性能microDICE 激光划片系统采用了热激光分离技术,能够将晶片分离成模具,显著降低了各晶片的划片成本,在提高产能的同时,也提供了优质的封边质量,对碳化硅而言尤为如此。该系列设备已经为许多工业制造企业所使用。

硅太阳能电池的切割

随着半模电池组概念的引入,使得电池的分离呈现出工业关联性,这种方法可以获得显著的功率增益。光伏类电池的标准工业流程是建立在激光划片和随后的机械切割基础上的。这种工艺的缺点是降低了电池效率和机械强度,同时,因为采用了激光加工与随后的机械切断相结合的技术,使得加工成本变得高昂。

为了克服这些缺点,3D-Micromac 公司将热激光分离技术应用于其microCELL 工业激光系统中,microCELL 是将标准硅太阳能电池分离成半电池的高效激光系统。与传统的分离技术相比,TLSDicing工艺能获得清洁、无裂纹的边缘;并且,不会在分割的边缘上出现晶体受损现象(图3)。非烧蚀工艺确保实现良好的封边质量。与激光切割相反,由于基材仅仅受到加热而不是蒸发,所以不会出现膨胀及形成颗粒。经TLS 加工的半模电池的机械稳定性比常规处理的太阳能电池高出很多。

新型激光技术分割脆性材料

图3 所示为经激光切割的边缘出现了断裂(a)和经过TLS-Dicing 工艺加工的边缘质量(b)。

热激光分离技术可实现的进给速度最高为500mm/s,与传统蚀刻和切割方法相比,其加工速度增加了近5倍。激光飞行加工及创新型处理概念实现了全面制造晶体半电池的最大生产能力和产量,每小时可以将加工近10,000只半模电池。

当前的技术发展状况

除了用于光伏或半导体行业,3D-Micromac还可提供一种基于热激光束分离的玻璃切割技术。这种切割技术使用了CO2激光器。根据具体应用的不同,可采用加工后切断或激光全切的方法。

切割效果能够满足工业显示器的生产要求,并可以确保清洁、温和的加工流程。此外,可以实现没有微细裂缝的光学层面上的清洁切割边缘。

新型激光技术分割脆性材料

图4:使用TLS 工艺切割钠钙玻璃样品的切割边缘

主要的应用范围从显微镜载玻片延伸到平板显示器前盖。最常用于加工的玻璃是0.7mm-1.1mm 范围的钠钙玻璃,以及用于平板显示器的0.1mm-0.7mm 的无碱硼硅酸盐。

总体而言,热激光分离是一种全新的分割半导体和光伏行业用脆性半导体材料的高效手段,它具有产量高、成本低、分割质量高的优点,通常一次性就能完成分离。这种工艺的进给速度介于300mm/s和500mm/s之间,具体视不同应用而异。与传统的划片或切割技术相比,TLS-Dicing 具有侧壁质量优异,无碎裂,以及拥有成本低等多重优势。

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